I. Носьбіты пласцін і кампаненты транспарту
• Назвы матэрыялаў: PFA (перфторалкоксільная смала), PEEK (поліэфірэтэркетон), PP (поліпрапілен), PC (полікарбанат), PEI (поліэфірымід), антыстатычны ПК/ПВХ, які праводзіць POM
• Тыповыя кампаненты :
• Каляска для перавозкі пласцін (тэрмаўстойлівая, антыстатычная, мала ападкаў, выкарыстоўваецца для захоўвання і транспарціроўкі пласцін)
• Вафельная лодка (носьбіт высокатэмпературнага хімічнага працэсу, патрабуе ўстойлівасці да зносу і хімічнай карозіі)
• Каробка для перадачы пласцін з адкрыццём спераду (высокая празрыстасць, нізкая дэгазацыя, абараняе чысціню вафель)
• Вафельная касета (перыядычная транспарціроўка, нізкае вылучэнне часціц)
• Перавагі сумяшчальнасці:
• PFA/PTFE: Надзвычай нізкае выпадзенне іёнаў металу, што забяспечвае працэсы высокай чысціні
• PEI: высокая празрыстасць, устойлівасць да высокай тэмпературы (прыкладна 170°C), падыходзіць для аглядных вокнаў FOUP
• Антыстатычны ПК/ПВХ: прадухіляе электрастатычныя пашкоджанні (ESD) • Прыкладна 10⁶ Ω па велічыні, выкарыстоўваецца для працы з прыстасаваннямі
• Праводны/ESD POM для транспартных кампанентаў, больш адчувальных да статычнай электрычнасці
II. Кампаненты хімічнай механічнай паліроўкі (CMP).
• Назвы матэрыялаў: PEEK, PPS (поліфеніленсульфід)
• Тыповыя кампаненты:
• Кольца для мацавання CMP (фіксуе крамянёвыя пласціны/крышталі, зносаўстойлівае, хімічна ўстойлівае, павялічвае тэрмін службы)
• Падтрымка паліравальнай накладкі (захоўвае марфалогію паверхні паліравальнай накладкі і стабільнасць працэсу)
• Перавагі сумяшчальнасці:
• PEEK: устойлівасць да высокіх тэмператур (прыблізна 260°C), хімічная ўстойлівасць, падыходзіць для высокай нагрузкі CMP
• PPS: высокая цвёрдасць, забяспечвае стабільную структурную падтрымку
III. Ушчыльненне працэсу і ўстойлівыя да карозіі кампаненты
• Назвы матэрыялаў: PTFE (політэтрафтарэтылен), PFA, PVDF (полівінілідэнфтарыд), PEI
• Тыповыя кампаненты:
• Укладышы для трубаправодаў/вентыляў (транспартуюць моцныя кіслоты, шчолачы і хімічныя рэчывы высокай чысціні, надзвычай нізкае вылучэнне іёнаў металаў)
• Укладышы для корпуса помпы/рэзервуара (захоўваюць травільныя растворы, якія чысцяць сродкі і іншыя агрэсіўныя асяроддзя)
• Устойлівыя да карозіі злучэнні і ўшчыльненні (устойлівасць да...) (Для моцна агрэсіўных асяроддзяў, такіх як HF/HNO₃)
• Перавагі сумяшчальнасці:
• PTFE/PFA устойлівы амаль да ўсіх моцных кіслот і шчолачаў, прыдатны для транспарціроўкі вадкасці высокай чысціні.
• ПВДФ спалучае ў сабе хімічную ўстойлівасць і ўстойлівасць да ультрафіялету, падыходзіць для фармацэўтычных рэзервуараў для захоўвання.
• PEI мае нізкае вылучэнне газу, сумяшчальны з кампанентамі, сумяшчальнымі з чыстымі памяшканнямі і вакуумам.
IV. Кампаненты ачысткі пласцін і кантролю забруджвання
• Матэрыялы: PFA, PTFE, PVDF, PEEK
• Тыповыя кампаненты:
• Ачышчальны бак/кошык (устойлівы да высокіх тэмператур і кіслот/шчолачаў, памяншае другаснае забруджванне)
• Картрыдж газавага фільтра (падтрымлівае носьбіты высокай чысціні, нізкае вылучэнне прымешак)
• Кампаненты сістэмы хімічнага распылення (Устойлівыя да карозіі хімічным распыленнем)
• Перавагі сумяшчальнасці:
• PTFE/PFA: Нізкая колькасць ападкаў, падтрыманне чысціні ў працэсе ачысткі
• PEEK: Устойлівы да высокіх тэмператур і хімікатаў, прыдатны для высокатэмпературнай ачысткі
V. Тэставанне ўпакоўкі і дакладных кампанентаў
• Матэрыялы: PEEK, PAI (поліамід-іімід), PI (поліімід), PPS, PC
• Тыповыя кампаненты:
• Тэставая разетка (устойлівая да высокіх тэмператур, стабільная па памерах, забяспечвае надзейнае электрычнае злучэнне)
• Латок для мікрасхем (падтрымка ўпакоўкі і тэсціравання, нізкае паглынанне вільгаці, устойлівасць да тэмператур)
• Структура падтрымкі карты зонда (высокадакладнае пазіцыянаванне, нізкае цеплавое пашырэнне)
• Кампаненты электраізаляцыі (ізаляцыя і абарона, прадухіленне кароткага замыкання і ўцечкі)
• Перавагі сумяшчальнасці:
• PEEK: высокая цвёрдасць, устойлівасць да высокай тэмпературы (прыблізна 250°C), падыходзіць для дакладных свяцілень.
• PI/PAI: устойлівасць да высокіх тэмператур (прыблізна 260°C+), падыходзіць для кампанентаў у экстрэмальных умовах.
• PPS: хімічна ўстойлівы і высокатрывалы, прыдатны для структурных кампанентаў з доўгім тэрмінам службы.
• Ізаляцыйны ПК: спалучае ў сабе ізаляцыю і апрацоўку, падыходзіць для карпусоў і структурных кампанентаў.
VI. Іншыя дапаможныя кампаненты
• Назвы матэрыялаў: антыстатычны ПК/ПВХ (вокны і прасціны для чыстых памяшканняў), POM (полиоксиметилен), PA66 (нейлон 66), ізаляцыйны бакеліт (фенольная смала)
• Тыповыя кампаненты:
• Вокны чыстых памяшканняў, панэлі абсталявання (антыстатычныя, лёгка мыюцца)
• Прывадныя перадачы, падшыпнікі, накіроўвалыя (самазмазвальныя, з нізкім трэннем, высокая дакладнасць)
• Кампаненты структурнай падтрымкі абсталявання (ударатрываласць, стабільнасць памераў)
• Электраізаляцыйныя структурныя кампаненты (кранштэйны, пракладкі, якія павышаюць бяспеку і надзейнасць)
• Перавагі сумяшчальнасці:
• POM/PA66: самазмазвальны, нізкі каэфіцыент трэння, павышае эфектыўнасць трансмісіі і працягласць жыцця.
• Антыстатычны ПК/ПВХ: падыходзіць для зон, адчувальных да электрастатычнага разраду.
• Ізаляцыйны бакеліт: класічны ізаляцыйны матэрыял, тэрмаўстойлівы, стабільны па памерах.
VII. Меркаванні па выбары і сумяшчальнасці
• Абарона ад электрастатычнага разраду: выбірайце антыстатычныя (павярхоўны супраціў прыблізна 10⁶–10⁹ Ω) або токаправодныя (меншы павярхоўны супраціў) рашэнні ў залежнасці ад вобласці, забяспечваючы бяспеку як персаналу, так і абсталявання.
• Хімічная ўстойлівасць і чысціня: PTFE/PFA/PVDF з'яўляюцца пераважнымі для вільготнай апрацоўкі/тручэння/ачысткі; PEI/PPSU лічацца высокай чысцінёй і нізкім вылучэннем газу.
• Тэмпература і трываласць: PEEK (прыкладна 250°C) з'яўляецца пераважным для высокатэмпературнага заціску і ізаляцыі; PI/PAI (прыкладна 260°C+) не з'яўляецца абавязковым для экстрэмальных умоў.
• Дакладнасць і зносаўстойлівасць: POM/PA66 пераважней для зубчастых колаў/паўзункоў/падшыпнікаў; PEEK выкарыстоўваецца для вялікіх нагрузак або высокіх тэмператур.
• Вакуум і сумяшчальнасць: Матэрыялы з нізкім утрыманнем газаў (напрыклад,...) PEI/PPSU) Падыходзяць для вакууму і асяроддзя з высокай чысцінёй.
VIII. Варыянты дастаўкі, якія мы прапануем
• Асартымент матэрыялаў: PEEK, PEI, PPSU, PSU/PES, PC, PP, PE, PTFE, PFA, FEP, PVDF, ETFE, PA66, POM, бакеліт і інш.
• Метады апрацоўкі: дакладная апрацоўка з ЧПУ, рэзка на гравіравальным станку, гарачая гібка/склейванне/зварка і г.д.
